研微半导体:SiC EPI 设备再次交付国内上市公司客户
8 月 4 日,研微(江苏)半导体科技有限公司宣布,其自主研发的 SiC EPI 设备再次交付国内上市公司客户。该设备适配 6/8 英寸 SiC 晶圆,覆盖新能源汽车功率器件、储能变流器、工业电源等主流赛道,支持平面、沟槽类 SiC 外延量产工艺。
 
 
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