芯上微装：AST6200 产品获行业头部客户重复订单
金十数据 8 月 10 日讯，近日，芯上微装自主研发的 350nm 步进投影光刻机（AST6200）顺利通过国内化合物半导体领域头部客户的工艺验证，并获得批量重复订单。AST6200 光刻机可广泛应用于功率器件、射频前端、光电子芯片及 MicroLED 新型显示等制程场景。