三星晶圆代工计划在 1nm 级制程节点实现 High NA EUV 商业应用
据报道，来自三星电子半导体研究院晶圆代工工艺开发团队的 Park Chang Min 表示，该企业计划在 1nm 级工艺制程节点实现 High NA EUV 设备的商业化应用。