中科仪：拟实施集成电路干式真空泵扩产项目
10 月 20 日，中科仪公告，公司计划在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上，实施集成电路干式真空泵扩产项目。项目资金来源为自筹资金，项目拟投资 42,313.48 万元，其中中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司及上海分公司拟投资 19,144.70 万元，实施主体为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司；中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资 23,168.78 万元，实施主体为中科仪（南通）半导体设备有限责任公司。